某半导体设备厂在加工整个过程中选择氯化铵系定影液,制造高溶液浓度含NOx生活污水,日外理量50吨。生活污池中含NO2-达到2000mg/L,且内含微量分析有机质光刻胶化学成分,外理难易度比较大的。
2. 废水处理方法因素及主要来源
定影道工序电镀废水(主耍空气污染物源头)
晶圆洗涤工业废水
有机废气物清洗塔排水沟
3. 处置技艺步骤流程
分为"高級硫化+有级怪物治疗"创新性加工过程:
三氧氧化反应
:完成二脱色碳造成器有O3,将难生物降解有机会物转化为小原子核有害物质,同一时间将NO2-脱色为NO3-。
微生物膜发应器(MBR)
:
首级:星球基地室内环境下加药甲醇成为碳源,加速反硝化细菌反應
第2级:好氧生物制品膜进这一步化学降解高分子化合物物
有机化学物质深浅操作
:选用钛基镀层工业,经由电解设备能力根除可分解的残留物严重有害物质。
4. 最终能够效用
NOx总氮下降8mg/L之下
COD稳定性高在30mg/L已内
废液造纸废水处理率达60%
程序正常运行耗电率把控好在3.5kWh/吨水,较传统艺术生产工艺节能公司20%。