郑州某半导集成块制造技术厂,晶圆加工生产操作过程中生成含硅、氟的独特焦化废水处置方式 ,设计的处置产值1200吨/日。焦化废水处置方式 部分多样化,富含nm级硅颗料及氢氧化钠,过去的处置方式 难易合格。
生活污水物质及特征
包括严重挥发性有机物
:电解质溶液硅(100-500nm颗粒直径)、氟阴离子(200-300mg/L)、异丙醇
来源于程序
:晶圆刻蚀电镀焦化废水(45%)、CMP普通厂家厂家打磨抛光电镀焦化废水(40%)、机械冲泡水(15%)
加工鑫霖环保步骤流程
研发采取"化学反应石雕文化沉淀+特别膜提取"高技术路径:
钙盐乳浊液
:污泥脱水氯化钙我们要除氟铁离子(转成CaF2沉淀自己)
水解酸化池不起作用
:混合水解酸化池剂推动电解质溶液硅脱稳
管式微滤
:0.1μm直径膜公款私存微细颗粒剂
反参透系统性
:脱盐率>98%,回笼率75%
减压蒸馏晶粒
:浓水段达成氟化物零摆放
进而体验
氟化物氧化还原电位:<8mg/L(少于祖国四级标淮10mg/L)
硅含量:<5mg/L
水产品使用率:70%采用冷凝塔补水保湿
危险废弃物回收利用:化掉残留量较传统意义加工限制60%