半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
光电器件高档次测封配套方案涉重废液——MVR硬性无限循环零排品牌
項目背景图
半导体芯片芯片中高端首测項目,面积150m³米/天,是第一例半导体芯片芯片首测智能化涉重化工废水处理方法零排項目。首测节点的镀镍、镀铜、引线眼镜框架擦拭会导致含镍含铜化工废水处理方法,居民小区标准要求"无尾水外排",产水彻底循环于产线。
水体质量表现形式与困惑
污水以含镍相结合(质量浓度10–100毫克/升),伴轻微铜、锌,pH下跌大(2–12),另外还有光刻胶留下的极富有机肥料物。首测厂活动场地紧,想要外理设施设备土地征用小;零排一味着浓水并不能土石方太久,有必要本市多效蒸发析出反馈控制。
清工院艺的路线
整体性走"分质持续 → 预外理除杂 → 无机化学沉垫除镍 → 油烟净化器 → UF+二级RO → MVR禁止循坏蒸发器 → 气液分离器水循环":
含镍线先调pH到10–11,加药系统氢防腐蚀钠合成Ni(OH)₂凝固,再加上塑炼钠高度收集残存镍(塑炼镍Ksp比氢防腐蚀镍更小,把镍压到0.1毫克/升以內);
滤渣溢水经多媒质筛选系统+安全筛选系统后进UF,再进特一级RO,产水间接回产线洗涤;
RO浓水(含盐+残留血本属)进MVR強制巡环多效空调冷凝器,強制巡环能扛高含盐积灰,多效空调冷凝器原带百度在线除垢,不会堵;
MVR冷凝剂水到回收利用池子,蒸馏残液委外梵烧或当作垃圾救治,某个厂内无液体外排。
重要性设配特征表示
MVR强行嵌套不断循环相对来说各种类型降膜蒸馏,嵌套不断循环风速高、传热系数面不能结镍盐/碳酸盐垢,适当首测这类"水流量不但水质量杂"的的场景;整体化撬装设定占地赔偿比中国传统蒸馏塘+多效蒸馏规划小60%大于;废气侧模块化生物工程滤池,把缓解池和污泥干化间的废气征集后挥发成CO₂和水,减少首测厂相邻办公室区的特殊难闻气味匿名举报。
治理郊果与收益
溢水镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,远远高于《塑胶电镀被污染的物废气尾气排放标准规范标准》表三;另一个150万立方/天产水回收利用于首测产线拆洗,使用等量新鲜度水;危废处理(化掉残液+生活污水)量比传统文化"沉积+废气尾气排放标准"模式英文减约70%。对富士康侧,首测大型项目的环保准入的卡点遭打通;